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사업소개
스퍼터링타겟사업

스퍼터링타겟사업

사업소개 제품소개

Au/Ag/Pt 스퍼터링 타겟

  • 순도 Au/Ag 99.99%이상, Pt 99.95%
    규격 사이즈 및 합금비율 주문생산 가능
    용도 전자제품
    Material Purity G/S
    AI 5N.4n 3x3mm / p3x6mm / 16x6mm
    Ni 4N 10x10x2mm / p3x3mm / 13x6mm / p6x6mm 16x3mm
    Ti 4N5 p3x3mm / p3x6mm / 0 6x6mm
    Cr 4N 2-5mm
Material Purity G/S
Al pure 5N,4n <100㎛
A-1%Si 5N <30㎛
AI-0.5%Cu 5N <30㎛
AI-1%Si-0.5%Cu 5N <30㎛
Al-1.5% Ti 4N <30㎛
Ni pure 4N <50㎛
Ni-Cr (80:20wl%) 3N5 <30㎛
Ni-V (93:7wt%) 3N5 <30㎛
Ni-AI 3N5 <500㎛
Ni-Fe (81:19%) 3N <30㎛
Ni-Cu (Monel) 4N <30㎛
Material Purity G/S
Ti 4N5 <30㎛
Ti-Al (50:50at%) 3N <500㎛
Cu 4N8 <30㎛
Co 3N <50㎛
Cr 3N5 <100㎛
Fe 3N 100㎛
Graphite 4N8
Nb 3N <200㎛
Sn 5N <100㎛
Zn 4N7 <300㎛
Zr 2N7 <50㎛

공정도

  • STEP 01
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    용해 및 절제
  • STEP 02
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    주조
  • STEP 03
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    압연
  • STEP 04
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    열처리
  • STEP 05
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    표면가공
  • STEP 06
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    세척 및 건조
  • STEP 07
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    스퍼터링 타겟 완제품